使用 EFEM 目的
- 提高生產效率
- 透過自動化的晶圓處理， EFEM 減少了人工操作時間，提升了生產線的運作效 率。
- 確保製程精度
- EFEM 的高精度對位系統確保了晶圓在傳輸過程中的準確定位，避免偏移和誤差，提高產品品質。
- 降低污染風險
- EFEM 在無塵環境中運作，減少人為接觸帶來的污染可能。
導入 EFEM 系統整合價值
- 市場領先定位
- 成為「智慧製程相容型設備」的先驅
- 自動化製程整合
- 實現無人化傳輸與量測，與 MES 系統相容
- 擴大應用市場
- 從輔助設備轉變為智慧生產設備
控制架構 - 綜合比較
- EFEM 控制架構比較
功能層級 | EFEM | +Scheduling | +Scheduling +SECS |
通訊介面 | 接收指令執行被控模式介面如 MODBUS / TCP / RS232。 | Scheduling 排程主控模式標準通訊外，還支援支援三菱、倍福、Omron 、基恩斯等多家 PLC 通訊交握控制設備模組。 | 同左。 |
控制邏輯 | 外部上位控制基礎模組，如 FOUP / Robot。 | 排程邏輯與流程同步。 | 整合 CIM / EAP / GEM 規範 |
模組管理 | 僅設備控制 | 模組間資源管理與排程。 | 模組排程與對外連線事件處理。 |
記錄與監控 | 支援 Alarm / History / 模擬除錯。 | 同左。 | 可報告給 Host 事件 / SVID / ALARM。 |
MES/Host 連接 | 無 | 無 | 標準 SEMI SECS/GEM 架構。 |
- EFEM 機台支援列表
機型 | EFEM 支援 | Scheduling | SECS/GEM 整合 |
Chip Sorter （芯片挑選機） | ✅ | ✅ | ✅ |
Die Bonder （黏晶機） | ✅ | ✅ | ✅ |
Single Wafer SPIN for Etching （單晶圓旋轉蝕刻機） | ✅ | ✅ | ✅ |
Single Wafer Cleaner （單晶圓清洗機） | ✅ | ✅ | ✅ |
Chemical Mechanical Polishing（研磨機） | ✅ | ✅ | ✅ |
PVA Cleaner （PVA 清洗機） | ✅ | ✅ | ✅ |
Auto Oven （自動化烤箱） | ✅ | ✅ | ✅ |
NTB （晶圓暫存緩衝設備） | ✅ | ❌ | *️⃣（E84 Only） |
NOTE：✅=支援、❌=不支援、*️⃣=部分支援 | |||
EFEM 控制架構 (不含排程)
EFEM 控制架構 (含排程)
關於視動
- 從簡到繁，視動架構可「模組彈性擴充」，讓客戶從開發階段快 速驗證，到整廠量產無縫升級。你可專注核心設備研發，其他非 核心整合項交由視動團隊支援完成。
項 目 | 優勢說明 |
專注利基 | 半導體與電子產業機台自動化。 |
技術深度 | 高階學歷研發團隊，熟悉 SECS/GEM 、EFEM 、PLC 、CIM 系統。 |
客製整合 | 提供模組化、自定義通訊協定與控制邏輯。 |
產業合作 | 與 G2C+ 聯盟與客戶長期合作，熟悉量產導入流程。 |
全球視野 | 成功導入全球半導體領導廠如 Intel、WD 、TSMC 等。 |
