控制架構 - EFEM + Scheduling
控制架構具備高度的彈性與相容性，可靈活因應不同客戶的設備環境與需求。
- 許多自動化機台常用「單一大型控制程式」來實作整個製程流程。以開發工具撰寫一支程式控制自動化跑貨的全部步驟，沒有模組分層，也缺乏 recipe 抽象化。
問 題 | 說 明 |
撰寫與除錯困難 | 整個流程密集地寫在一份程式碼中，動輒上萬行，開發與編譯耗時，任何一處錯誤都可能導致整體流程中斷。 |
擴充性差 | 若客戶要加入新的Controller 或模組（如 AOI、Plasma Cleaner ），需深入了解整體流程邏輯與變數依存性，幾乎無法局部調整。 |
依賴特定人員 | 維護與修改多由原開發人員負責，新進工程師難以理解複雜流程，一旦主導人員離職，知識斷層風險極高。 |
配方 / 流程寫死 | 沒有 recipe 抽象，流程條件或參數需透過硬寫程式邏輯調整，導致版本分歧、測試不易。 |
- 視動 Scheduling Module 設計優勢
模組化設計優勢 | 對應痛點改善 |
子系統如 Robot 、FOUP 等皆有獨立初始化邏輯與介面。 | 可獨立測試與除錯，不影響其他模組。 |
製程流程以配方 Recipe 驅動，改設定或既有多組設定可直接切換流程。 | 無需修改模組程式用設定方式即可支援新產品 / 製程。 |
排程管理 wafer 任務清單，每片 wafer 狀態清晰可追溯。 | 不再依賴開發者熟記流程邏輯。 |
設定可快速整合新模組。 | 無需重構整體流程，降低擴充成本。 |
所有製程流程可以透過設定完成。 | 客戶可自行定義流程，不需修改 Scheduling 核心模組。 |
雖然開發初期較複雜（需設計模組介面、設定製程流程、錯誤恢復流程等），但一旦建構完
成，其彈性、擴充性、維護性與知識傳承能力大幅優於傳統式開發。
- 案例
控制架構 - EFEM + Scheduling + SECS
- 加入 SECS/GEM 模組的必要性
功 能 | 說 明 |
通訊標準化 | SECS/GEM 提供製程設備與主機（ MES/FACTORY HOST ）之間的標準化通訊協議。 |
提升設備整合性 | 工廠可快速導入視動 EFEM 作為標準通訊節點。 |
支援無人化生產 | 結合 SEMI E84 可實現 FOUP 自動對接與搬運交握。 |
生產數據收集與追溯 | 可將晶圓處理狀態、異常、配方、Alarm 等訊息上報給 HOST。 |
支援 Industry4.0 | 為後續接軌智慧製造（如 AI / 大數據 / 雲控）提供基礎框架。 |
- 視動 vs 市售 SECS/GEMS Driver 產品比較
項 目 | 視 動 | 市 售 |
模組整合度 | 與 HMI++ 、EFEM 控制系統原生整合。 | 獨立元件，需額外整合。 |
設定彈性 | 表格式自定義 VID/SVID 、配方、CEID 、Report 、Alarm 等。 | 不一定有 UI 介面可編輯調整，需要自行在程式碼中編撰功能。 |
應用案例 | 已導入 TSMC 、UMC 、ASE 、Intel 等量產線。 | |
技術支援 | 有整合開發與維運經驗，支援實 機端改機。 | 偏向 SECS Drive 使用方式的教訓訓練課程。 |
- 案例
