控制架構 - EFEM

Custom Protocol 架構是視動科技 EFEM 系統的基礎控制模式。此架構允許視動透過簡化的通訊協定與客戶的上位系統直接對接,實現快速部署。

項 目

說 明

軟硬體分離

透過標準協定如 Modbus/Socket/RS232 實現控制軟體與硬體層完全解耦,簡化系統升級與維護。

虛實分離測試

內建模擬器可同時測試 FOUP 、Robot 、Aligner 等模組,無需實體設備即可加速系統開發與功能驗證。

模組可擴展

基於 Flexible Device 設計架構,支援客製化功能模組無縫整合,依據半導體製程需求靈活配置。

廠牌中立化

Flexible Device 設計使系統不受限於單一廠牌控制器,客戶可依成本與效能需求自由選擇最佳設備組合。

控制架構 - EFEM + SECS

EFEM 系統整合簡介

EFEM 控制架構 (含排程)