控制架構 - EFEM
Custom Protocol 架構是視動科技 EFEM 系統的基礎控制模式。此架構允許視動透過簡化的通訊協定與客戶的上位系統直接對接,實現快速部署。

- 外部通訊協定層( Custom Protocol )支援彈性對接外部上位系統,依專案需求實作客製通訊協定。
- EFEM 控制核心層( EFEM Control System )負責模組命 令控制、資源調度。
- 模擬邏輯層支援虛實分離,可在無實體設備時進行模擬測試 與流程驗證。
- Smart Controller 控制層( Flexible Device )透過標準通訊協定對接第三方控制器。
- RORZE (Robot )、TDK( FOUP )等。
- Beckhoff / Advantech ( Remote I/O 控制)。
- 架構特色
項 目 | 說 明 |
軟硬體分離 | 透過標準協定如 Modbus/Socket/RS232 實現控制軟體與硬體層完全解耦,簡化系統升級與維護。 |
虛實分離測試 | 內建模擬器可同時測試 FOUP 、Robot 、Aligner 等模組,無需實體設備即可加速系統開發與功能驗證。 |
模組可擴展 | 基於 Flexible Device 設計架構,支援客製化功能模組無縫整合,依據半導體製程需求靈活配置。 |
廠牌中立化 | Flexible Device 設計使系統不受限於單一廠牌控制器,客戶可依成本與效能需求自由選擇最佳設備組合。 |
- 案例
控制架構 - EFEM + SECS

- EFEM + SECS 架構將 EFEM 系統的模組化控制能力,結合標準化的 SECS/GEM 通訊協定,實現設備與 HOST 系統(如 MES 、FDC 、CIM )之間的高效整合與雙向資料通訊。
- 若需導入 SECS 功能,請參考《視動 SECS/GEM 解決方 案》產品頁面以獲得詳細規格與整合方式。